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半導(dǎo)體工藝過程中有機(jī)廢氣具有排放風(fēng)量大、濃度低和成分復(fù)雜的特點(diǎn)，使用其它的處理技術(shù)難以達(dá)到令人滿意的處理效率。比較適用的是吸附——催化燃燒法，目前一些大型半導(dǎo)體企業(yè)已采用……
河南鄭州國(guó)家高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)
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