半導(dǎo)體行業(yè)作為高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)往往被人誤解為 “清潔”產(chǎn)業(yè)，但事實上，半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中使用了大量有機和無機物，這些有機溶劑大部分通過揮發(fā)成為廢氣排放，對環(huán)境危害較為嚴重，如不加以控制，將會產(chǎn)生較大的環(huán)境污染。
半導(dǎo)體工藝過程中有機廢氣具有排放風量大、濃度低和成分復(fù)雜的特點，使用其它的有機廢氣治理技術(shù)難以達到令人滿意的處理效率。比較適用的是吸附——催化燃燒法，目前一些大型半導(dǎo)體企業(yè)已采用沸石轉(zhuǎn)輪催化燃燒技術(shù)。
沸石轉(zhuǎn)輪催化燃燒設(shè)備安裝在客戶廠區(qū)
大風量、低濃度的揮發(fā)性有機廢氣(VOCs)經(jīng)過高效過濾器過濾后，進入沸石分子篩被吸附、濃縮，被吸附凈化后的干凈空氣通過煙囪排入大氣。
電控系統(tǒng)控制催化氧化爐開始加熱，加熱后的高溫氣體經(jīng)換熱器降溫再經(jīng)混風調(diào)節(jié)到100——200℃;沸石轉(zhuǎn)輪緩慢回轉(zhuǎn)(3～8r/h)，吸附區(qū)的轉(zhuǎn)輪旋轉(zhuǎn)到脫附區(qū)高溫脫附，脫附后的高濃度有機廢氣經(jīng)換熱器預(yù)熱進入催化氧化爐，氧化分解成二氧化碳和水，凈化后的空氣經(jīng)煙囪高空排放。
完成脫附的沸石轉(zhuǎn)輪旋轉(zhuǎn)到冷卻區(qū)冷卻降溫，完成吸附/脫附/冷卻的循環(huán)過程。
該方法適用于大風量、低濃度、常溫的有機廢氣治理，有機廢氣治理效率達到95%以上，運行費用較低，設(shè)備處理風量大，占地面積小，不產(chǎn)生二次污染，可持續(xù)脫附并處理污染物，保證廢氣達標排放。
樸華科技是一家專業(yè)的環(huán)保設(shè)備生產(chǎn)廠家，擁有十多年的有機廢氣處理、粉塵治理、脫硫脫硝、污水治理、油煙凈化大型項目經(jīng)驗，并可對整套設(shè)備進行優(yōu)化改良，提供相關(guān)設(shè)備的制造、安裝、調(diào)試等服務(wù)，歡迎廣大客戶前來咨詢，全國統(tǒng)一服務(wù)熱線：158-9013-7611。
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